談及半導體設備，人們想到的往往是精心設計的光路、機弦嘔啞的運動臺、嚴絲合縫的真空腔等，因為這些硬件系統機電構件的品質是半導體設備核心競爭力的直觀體現。

　　伴隨著半導體器件技術等級的不斷提高、需求量的日益增加，自動化控制軟件的重要性也開始逐漸顯現了出來。這是因為，雖然半導體設備中的自動化控制軟件似乎不太被人們所熟知，但它們實際上卻是精密機械部件之間協調運作的控制指揮者，猶如神經中樞般地控制著每一組設備乃至整條生產線。

　　而作為控制中樞，半導體設備的控制軟件應該要兼具如下三個特征：一是高穩定性，就是在運行過程中必須要極少出差錯甚至不出差錯，并能提供同步實時監控;二是易拓展性，便于根據客戶的需求來增添設備的功能、集成多種設備;三是易維護性，能夠比較方便地進行固件升級，并對機器的維護進行預測。

　　日前，江蘇集萃蘇科思科技有限公司的周怡帆，向筆者詳細介紹了Sioux在高度復雜的半導體設備控制軟件方面所積累的具有獨特性的解決方案——蘇科思設備架構平臺SEAP(Sioux Equipment Architecture Platform)。

　　據了解，作為在“機電一體化”一站式解決方案領域的引領者之一，Sioux于1996年由Hans Duisters與Erik van Rijswijk在荷蘭埃因霍溫創辦，其主要的競爭優勢體現在包含軟件、機械、光學、物理、機電、電子、數學和物聯網等諸多方面的跨學科整合能力。目前，Sioux在全球有超過800位的研發工程師，與飛利浦、賽默飛世爾、阿斯麥、博世、庫力索法、蔡司等100多家高科技企業保持著良好的合作關系。2019年，Sioux與江蘇省產業技術研究院和蘇州高鐵新城合作，在蘇州成立了聯合研發中心(江蘇集萃蘇科思科技有限公司)。

　　據介紹，基于SEAP架構平臺，Sioux在過去十余年間已經成功開發了與封裝光刻機、臺式掃描電鏡、數字病例掃描儀等多種不同設備相匹配的系統控制軟件，并希望通過人工智能的助力來提升多個半導體設備之間的協同能力，以進一步提高晶圓廠的生產效率。

　　同時，Sioux的算法團隊在數字孿生、預測性維護、流程優化等方面都已積累了相當的項目經驗。例如，通過對高維數據分析，使得不能直接觀察到的生產參數偏移被識別出來;通過分析多維度的生產數據時間序列，來預測設備維護以及優化設備下線維護時間;通過分析晶圓圖像的統計數據，將晶圓快速分類，并識別出問題批次等。