應用領域

      • 半導體檢測與制造

      • FPD（平板顯示）檢測差

      • 光學元器件制造

      • 測量系統

      應用需求

      • 亞納米級靜態抖動

      • 平滑運行速度，納米級跟隨誤

       • 高動態性能的大型定位平臺

      系列驅動器

      目前可提供兩種類型的 NanoPWM 驅動器

      MC4U-MC4U 槽架板卡

      能提供高達DC320V 電機/驅動電壓

      詳見ACS樣本

      NPM EtherCAT 驅動器模塊參數

      帶±10V 輸入電流換相指令的NPA驅動器參數

      MC4U

      *需要其它電流配置請聯系ACS