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克洛諾斯超精密氣浮“家族” 開啟半導體運控新紀元

文：文 / 深圳市克洛諾斯科技有限公司2025年第四期

導語：在今年的慕尼黑上海電子生產設備展上，深圳市克洛諾斯科技有限公司展示了其在半導體前道測量、先進封裝以及精密加工領域的三大創新矩陣，以多項“硬核”科技開創智造未來。

　　1 克洛諾斯三大創新矩陣

　　憑借17年的技術積淀，克洛諾斯作為國家級專精特新 “小巨人”企業，持續突破納米級精度天花板：實現了從氣浮零部件到半導體運控平臺的全場景覆蓋;國內首家實現晶圓級納米定位技術量產;累計服務500+半導體/光學/面板/ LDI/自動化客戶。克洛諾斯呈現的三大創新矩陣包括：

　　· 半導體前道量檢測方案：水星運動平臺(±2nm位置穩定性)+ 天王星運動平臺(40ms整定時間)+ 氣浮轉臺 (25nm跳動誤差)+ 氣浮運動平臺(±35nm精度、±5nm Jitter值);

　　· 先進封裝解決方案：木星運動平臺(±200nm貼片精度)+ 天王星運動平臺(40ms整定時間);

　　· 精密加工創新組合：氣浮電主軸(25nm精度)+ 小藍動力導軌(±5μm進度)。

　　2 技術領航，定義行業新標準

　　(1)木星超精密運動控制平臺

　　顛覆傳統封裝工藝：2m/s疾速響應配合±200nm定位精度。

　　木星運動平臺，結合先進的運動控制器和運動算法，提供多個特色控制功能：例如零穩定時間、非線性控制、先進的前饋和軌跡過濾器、納秒級抖動控制的全部軸完全同步、特有的同步軸控制算法、多維度mapping、基于實時map 位的先進觸發能力、先進的控制優化軟件診斷工具和系統頻譜分析工具，適用于先進固晶制程(倒晶封裝、扇出、混合鍵合、2.5D/3D封裝)以及Mini LED固晶、點膠等領域。

　　(2)水星超精密運動控制平臺

　　前道量檢測新標桿：±2nm穩定性+1.25m/s動態性能。

　　水星運動控制平臺，總行程達475*410mm，可滿足12 寸及以下的晶圓量檢測使用。水星擁有極佳的動態性能，加速度達20m/s2,同時最高速度達到1.25m/s，定位精度高達 ±1μm并擁有優異的雙向重復精度，可滿足晶圓量檢測設備的短行程短穩定需求。

　　水星運控平臺卡盤面帶真空接口，還可選配導軌粉塵抽吸功能、個性化信號以及壓縮空氣管等，可滿足ISO2潔凈等級環境需求。為了進一步提升晶圓量檢測UPH，克洛諾斯還可為水星加裝靜音系列主動避震，在特定頻率及工況下隔振效果能達到95%以上，每移動10μm整定窗口±40nm時整定時間就可控制在40ms內，并且位置穩定性在2KHZ時能達到 ±2nm，這意味著水星能極大程度上降低工作時間，有效提升設備的UPH值。

　　(3)氣浮電主軸

　　精密加工里程碑：20000rpm水冷直驅+<100nm徑向誤差。

　　該系列獨特的密封(迷宮式)確保主軸在不清潔的環境中使用而不易損壞。其中，CABS-20000和CABS-12000主軸適用于高速加工和精度要求很高的加工。CABS-5000主軸是為晶圓研磨和拋光設計開發的，主軸的徑向和軸向誤差運動小于200nm，適用于各種高精度加工設備。