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GSHD 系列高性能伺服驅動器在晶圓制造 MOCVD 設備的應用

文：固高伺創驅動技術（深圳）有限公司2025年第三期

MOCVD設備可被用于LED、功率器件等多個領域，是LED芯片生產過程中最為關鍵的設備，其工藝、技術極為復雜。本文簡要介紹了采用固高伺創GSHD系列伺服驅動器，配合磁流體電機的MOCVD設備控制系統。

文 / 固高伺創驅動技術（深圳）有限公司

     工業互聯網革命以來，半導體成為了許多工業整機設備的核心，普遍應用于計算機、消費電子、網絡通信、汽車電子等重點領域。MOCVD設備可被用于LED、功率器件等多個領域，是LED芯片生產過程中最為關鍵的設備。
     MOCVD全稱是Metal-Organic Chemical Vapour Deposition（金屬有機化學氣相沉積設備），是在基板上生長半導體薄膜的一種技術。利用MOCVD技術，納米層可以以極高的精度在晶圓表面沉積，每一層都具有可控的厚度，形成具有特定光學和電學特性的覆蓋材料。MOCVD是用于 LED芯片和功率器件制造的關鍵工藝技術。經過近二十年的持續發展，MOCVD成為了目前半導體化合物材料制備的關鍵技術之一，被廣泛應用于包括半導體器件、光學器件、氣敏元件、超導薄膜材料、鐵電/鐵磁薄膜、高介電材料等多種薄膜材料的制備。
   國產化MOCVD設備采用固高伺創自主研發的GSHD系列高性能伺服驅動器，配合國產磁流體電機，可實現對進口設備的原位替換，并提升工藝控制的易用性與安全性。

1 MOCVD設備對控制系統的要求

通過Modbus TCP 協議發送指令到驅動器，支持 MODBUS-TCP報文結構（由MBAP+PDU組成）。

? 事務標識符是報文的序列號，主要用于請求/響應匹配，客戶端每發送一次新請求會自動遞增，服務器接收時會把這個數據原封返回；

? 協議標識的固定值是Modbus-TCP標準協議標識的 0x0000；
? 長度是從單元標識符開始至報文結尾的字節數，單位字節；
? 單元標識符為設備站號標識，用于多設備總線尋址，驅動器配置方式是通過硬件撥碼開關來設定。
②PDU（幀結構）如下：

2 MOCVD設備伺服控制系統技術方案

本系統采用固高伺創GSHD系列高性能伺服驅動器配合磁流體電機，構成高性能運動控制解決方案，主要技術特點如下：

? 高速通信性能：支持Modbus通訊協議，確保控制指令的實時傳輸，采用Modbus TCP控制功能，實現高速數據交互；
? 精密運動控制：磁流體DD馬達高速運轉時速度波動 ±0.5rpm，具備優化的加減速曲線算法，確保運動過程平穩；
? 安全控制功能：具備無急停配置下的智能停機功能，支持通過數字I/O界面靈活配置停機模式（保持使能/下使能）；
? 系統優勢明顯：性能穩定可靠，綜合性價比優異；
? 多種應用場景：MOCVD設備、MiniLED設備。