国产成人精品免高潮在线观看-国产精品99无码一区二区-国产av人人夜夜澡人人爽-精品国产免费一区二区三区香蕉

晶圓搬運時，晶圓搬運機器人是確保生產效率和質量的 關鍵設備， 晶圓搬運機器人自主可控和國產替代已成為主流 趨勢。新時達機器人位居行業第一梯隊，秉持家國情懷與國 產化使命，憑借在工業機器人及運動控制領域的深厚積累， 成功研發多款半導體機器人。今天，讓我們深入了解新時達 ADTECH? 晶圓機器人 FA 系列——它安裝靈活， 布局適應性強。

　　FA 系列晶圓機器人憑借其高精度、高速度、高可靠性和 無需行走軸即可支持矩形的設備布局， 成為半導體行業的重要 選擇。

　　1、技術特點

　　FA 系列晶圓機器人具備四軸聯動精密控制采用創新性四 軸關節設計(J1-J4 軸) ，通過 Z 軸直線運動與 X/Y 軸復合運

　　動相結合，實現晶圓在三維空間內的精準定位。其中 J2/J3 軸 聯動控制水平面運動軌跡，J4 軸獨立負責末端執行器的姿態 調整，滿足晶圓傳送過程中對角度補償的嚴苛要求。

　　1)更快速的動態響應能力

　　搭載 SC410 驅控一體機平臺，創新性整合運動控制、 伺服驅動和 I/O 通訊模塊。采用多核異構處理器架構，實現 1ms 實時控制周期，顯著提升多軸協同運動的動態響應性能。

　　2)更高穩定性

　　通過有限元分析優化的桁架式機身結構，配合航空級鋁 合金材料，實現結構剛度提升 40% 的同時，自重降低 25%。 三重減震設計有效抑制高頻振動， 確保 10m/s2 加速度下的定 位穩定性。

　　3)更強的運動性能

　　·最大線速度：2.5m/s

　　重復定位精度：±0.05mm(ISO 9283 標準)

　　·最大加速度：15m/s2 ·MTBF：50,000 小時

　　4)更智能的控制系統

　　? 內置碰撞檢測與力矩補償算法

　　? 可編程路徑規劃軟件(ARStudio)

　　5)快換關節

　　? 模塊化關節設計：單個關節更換時間 <30 分鐘

　　2、市場競爭力

　　? 4 小時快速響應機制

　　? 區域備件中心(華北 / 華東 / 華南)

　　? 定制化工藝包開發服務

　　? SEMI S2/S8 安全認證支持

　　3、應用場景

　　1)晶圓廠智能物流系統

　　? 晶 圓 盒(FOUP) 自 動 化 傳 輸： 支 持 SEMI 標 準 300mm 晶圓盒的精準抓取與快速轉運

　　? 工藝設備對接：(適用于半導體產業 ( 晶圓取放 )、光 電產業 ( 小型面板、小型太陽能板 )、LED 產業 ( 藍寶石基板、 膠環 ) 等取放設備

　　? 潔凈室環境適應：Class 1 級潔凈度環境下的連續穩定 運行

　　2)先進封裝應用

　　? 3D IC 堆疊：μ 級精度的芯片拾取與放置

　　? 倒裝焊工藝：配合視覺系統實現 ±5μm 對位精度

　　? 晶圓級封裝：支持超薄晶圓(50μm)的無損搬運

　　FA 系列晶圓機器人已批量應用于某 12 英寸晶圓廠(月 產能 50K) ，通過當前第三代半導體產線驗證(GaN/SiC) 。 FA 系列晶圓機器人通過四軸協同控制算法、智能驅動系統和 模塊化架構設計，在運動精度(±0.05mm)、作業速度(2.5m/s) 等關鍵指標上達到國際領先水平。憑借新時達機器人特有的本 地化服務體系和成本優勢，使得 FA 系列晶圓機器人成為國產 半導體設備升級的首選方案， 助力半導體制造向更高自動化等 級邁進。

　　新時達機器人根據市場定制化和設備安全的需求，自 2020 年以來，開發了多款大氣、真空機械手系列產品，可 傳輸從 2 寸到 12 寸不同尺寸晶圓，目前已經實現在 EFEM、 Stocker、爐管、濕法、涂膠顯影、薄膜等各類半導體設備工 藝處理中完成取放、上下料搬運、檢測等應用。新時達眾為興 憑借強大的控制系統能力讓機體實現“快、準、穩”等多種性 能的極致平衡，實現晶圓傳輸的穩定性和可靠性。

　　經過多年技術沉淀，新時達 ADTECH? 晶圓機器人已經從 產品性能上實現國產替代， 并且依托原有工業機器人的本土化 市場積累， 為客戶在投資回報效益、服務響應速度上提供更具 有優勢的服務。