PI-用于晶圓切片的高精度激光加工
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PI-用于晶圓切片的高精度激光加工
所屬企業：普愛納米位移技術（上海）有限公司視頻類型：產品視頻
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直接驅動帶有空氣軸承的線性和旋轉平臺，可實現極限精度;高直線度、平面度和重復精度;消除齒槽效應，實現平穩的速度控制;拖鏈電纜管理;在晶圓工作點提供計量;全天候以高占空比運行;絕對編碼器消除了參考，同時提高了運行期間的效率和安全性。
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