一、前言 傳感器是把客觀世界中包含的各種信息通過各種載體盡量多的轉換出來，出于人類自身認識和思維的促限性等原因，人們習慣于接受和處理電磁信號攜帶的信息；因此，在以電磁信號為載體的信息社會迅速發展的今天，傳感器的重要性就不言而喻，由于當前理論、設計、工藝等發展的局限性，人們在現有已建立信息系統的模型、信息載體的種類的基礎上的信息敏感、信息傳輸和信息利用各個環節上不可避免的造成信息大量失真，在理論上已為人們所認識；如何解決這個問題呢？鑒于SAW技術自身的技術特點：工作頻率高（GHz量級）、信息載體信號（電磁—機械運動）能量集中、運動的表面化（易于工藝處理）、微細線條加工工藝成熟等原因，使得SAW成為各類傳感器當前研究的熱門，近年在應用上取得突破性進展，成為當前信息敏感的標志性技術之一。 [align=center] 圖1：SAW器件原理 [/align] SAW技術的發展起源于二十世紀六十年代初期，至今已有四、五十年的歷史。其基礎理論、應用設計、工藝技術、計算模型等方面的研究已非常充分，聲表面波（SAW）是一種傳播于基片界面的機械波，如圖1所示，鑒于SAW技術特點，推動一類新型、功能強大的SAW信號處理中的實現，從而在二十世紀七十年代后期推動了國內外寬帶擴頻技術在各類電子系統中的廣泛應用。但它具有不可回避的缺點。如：器件性能如器件工作頻率、插入損耗、時間延遲、相位延遲等受溫度、壓力、濕度等外界物理因素影響較大；因此，作為信息傳輸用的信號處理器，隨著當前信息傳輸特點和需求的迅速發展，技術弱點越來越凸顯。然而，正是由于SAW技術的上述優點和不足。奠定了SAW技術在信息敏感領域的獨特地位。 1>、SAW器件性能易受外界各物理因素影響，對信號處理器來說，這是它是必需克服的弱點，而對于信息敏感器來說，這正是它作所必需的。因而，SAW器件的信號模擬處理特點為其成為信息敏感器奠定了物理基礎。 2>、SAW信號能量集中在基片的1～2波長范圍內，其對外界量變的響應較其它信號更為敏感，因而，SAW信息敏感技術不但可以實現多種物理量（如溫度T、壓力P、濕度H等）的高精度敏感，還為化學、生物等微量物質的敏感奠定了技術基礎。 3>、SAW傳播速度為103m/s量級（比電磁波慢5個數量級），易于實現SAW傳感器的微型化、陣列化。 4>、當且與半導體技術融合時，奠定了SAW傳感器的綜合化、智能化、低成本大規模生產以及廣泛應用的技術基礎。 基于上述SAW技術的自身特點以及當前信息敏感技術發展的需求，SAW傳感器，包括SAW溫度傳感器，SAW壓力傳感器、SAW濕度傳感器、SAW化學氣體傳感器、SAW液相傳感器等，國際上早在二十世紀七十年代以后就有研究報告出現。近年來，隨著環境保護及反恐的需要，SAW傳感器再次宣起新的研究高潮，特別是SAW化學、生物傳感器，更是受到各國高度重視，如美國電子傳感器技術公司推出了用于環境監測的4100型手持式SAW氣體傳感器，于1998年通過美國EPA認證；美國微傳感系統公司2002年推出了HAZMATCADTH型系列SAW化學戰劑檢測器；JCADSAW綜合化學戰劑傳感器已于2000年后批量裝備部隊，美國國防部計劃在5個財年內作為制式儀器裝備美軍270000部。國內SAW傳感器發展始于二十世紀八十年代，對機載SAW壓力傳感器、SAW溫度傳感器、SAWCO化學氣相傳感器、SAW生物基因傳感器等進行了初步研究。本文對SAW傳感器的基本概念、結構、應用及發展中的問題作了一個概述。 二、SAW傳感器的基本工作原理 外界物理量的變化將引起SAW器件輸出信號幅度和頻率（相位）的變化。 1、SAW幅度影響 SAW在壓電基片上傳播，將有幾種類型的與外界的相互作用，這些作用都將造成SAW能量的改變，它們包括：a、對SAW能量吸收千萬的直接能量損耗；b、由于SAW傳播偏離接收換能器而造成的間接能量損耗。在這兩種情況下，SAW接收換能器所接收的SAW能量（相對應于SAW信號幅度）都要減小，其輸出的RF信號電壓幅度相應減小。 2、SAW速度（頻率）干擾 涂覆單位面積質量，h或ρ的微小變化也將引起振蕩器振蕩頻率的變化。由單位質量負載變化引起的頻率變化幅度與工作頻率f成平方關系，k1,k2是與材料有關的常量。 3、SAW傳感器的兩種信號檢測方式 SAW傳感器的兩種信號檢測方式：頻率檢測方式和相位檢測方式如圖2所示 三、SAW傳感器在無源標識器中的應用 SAW無源識別器還在汽車制造、物流、高壓輸電設備安全監控、道路自動收費（ETC）、門禁控制/電子門票、動物身份標識與跟蹤、圖書銷售與管理、航空行李處理、郵件/快運包裹處理、生產制造和裝配、食品生產與銷售等等方面獲得應用。可以說，SAW無源識別器將在現代信息網絡中占據一席之地，將成為SAW技術應用的又一高潮。 <1>在RFID系統上的應用 DRFID，即射頻無線標簽，是取代目前商品流通領域內廣泛使用的條型碼的唯一技術，其應用范圍之廣，影響之巨大，無容多言，而目前各廠家開發的半導體型無線無源電子標簽，其作用距離一般在1m以內，這極大地限制了RFID技術優勢的充分發揮；除此之外，工作于915MHz以下的RFIDIC在有金屬物體、液體、高溫、強電磁干擾環境中時，其信息讀取存在困難。因此，開發新一代遠距離、無源、抗干擾RFID是非常需要，而在這兩個方面，SAW技術實現的RFID恰恰具有無可比擬的技術優勢，其原理如圖3所示；可以預計，采用SAW技術實現的RFID將具有巨大的市場前景，具SAW行業專家估計，無源SAWRFID是SAW技術繼在彩電、移動通信兩次應用高峰后的又一高峰，其市場容量將遠大于前兩次應用。 <2>在智能輪胎上的應用 輪胎是飛機、汽車、各類戰車等交通工具的關鍵部件。輪胎爆裂是交通事故的主要因素。西方主要汽車生產國已強令實施汽車輪胎的實時監測，實行所謂的智能輪胎；智能輪胎，實際上就是對運行中輪胎的溫度、壓力以及地面摩擦系數實施實時監測，這就需要相應的溫度、壓力、濕度、扭矩等傳感器，鑒于輪胎的惡劣工作環境，置于輪胎中的傳感器必需體積微小、工作穩定、工作時間長、無源抗電磁干擾，而這諸多苛刻條件的要求正集中映射了SAW無源無線RFID的技術在智能輪胎中上應用的獨特優勢，其原理如圖4所示 <3>在大型電機設備中的應用 大型火力、水力、核力發電設備的發電機組的長期、穩定、安全運行，離不開現場對系統的溫度、壓力、剪切力等參數的實時監測，而這些設備又處于高溫、高濕、強電磁干擾等惡劣工作環境，實時讀取、傳輸這些參數信息的技術目前首選SAW技術，特別是SAW無源識別器可集信息獲取與傳輸于一體，且可工作于極高溫（＞1000℃）、強電磁干擾等環境，圖5所示。因而SAW無源識別器將成為該類重大工程大型設備系統安全運行的關鍵監測設備。 <4>SAW敏感技術在火車自動調度、安全運行監控系統中的應用 SAW無源識別器構成的RFID——OFWID系統SOFIS已用于MunichS-Bahn火車自動調度系統中作無源電子標簽，圖6所示 <5>火車安全運行監控系統 SAW無源識別器可構成火車輪軸溫度、剪切力等參數的實時敏感器，同時實時把所監測的信息傳回控制中心，實施自動，實時監測與報警系統，以利于火車的長時、高速安全運行，圖7所示。特別是我國目前狀況，火車的高速化、信息化情況下更具有重大意義。 [align=center] 圖4、5、6[/align] 更為特別的是，SAW技術除上述的對外界信息的易感知性和其信號的易檢測性外，由于SAW器件在GHz范圍內仍表現出非量子性（而這種量子效應直接導致半導體電路的門限效應），即GHz范圍的SAW信號的連續運動性，從而使SAW器件具有極低的門限以及大的動態線性，這極大地拓展了SAW技術在無源信息敏感方面的應用。 四、SAW傳感器的發展 SAW傳感器的發展，不單需要設計出高性能聲表面波器件，而且聲表面波器件的制作工藝的提高也起著關鍵的作用，這就需要亞微米電子工藝技術作保證；發展SAW信息敏感技術包括四個關鍵技術：<1>SAW信號處理轉換技術；<2>化學/SAW敏感（膜）技術；<3>綜合信號處理及檢測技術；<4>系統技術。 1、SAW信號處理轉換技術 （1）敏感參數的選擇；（2）SAW振蕩器類型的選擇；（3）聲波種類的選擇等 2.化學敏感膜技術 （1）選擇性吸附膜的研制；（2）選擇性吸附膜的制備工藝等 3.綜合信號處理技術 聲表面波微聲信息敏感器是以SAW模擬信號處理器為基礎的傳感器，它對外界量、壓力、溫度、濕度、電壓、負載等各類物理、化學、生物氣相、液相量均要產生敏感即一個SAW敏感頭所對外界量到電信號的轉換過程為，而SAW傳感器的最終目的是要以SAW敏感器中得到的電信號E（P,T,H,V…）中分解出E（P）,E（T）,E（H）,E（V）…，即解析出： E（P,T,H,V…）=g[E（P）,E（T）,E（H）,E（V）…，]…（1） 解出相應的外界量的變化量P，T，H，V，……。 4．系統設計應用技術研究 SAW信息敏感器不是一個單獨的信號處理的芯片。它是一個有具體實用環境的人機系統。因此，它的設計必須考慮如下因素：<1>面對一般干擾環境因素；<2>面對的惡意干擾環境因素；<3>人機界面接口；<4>參數的自我收斂性能；<5>內、外交流性能（各類信息、能量的交流）等等，這些因素如果在該系統設計之初能充分分析、融合進設計中，那么研制的產品才有生命力，才有實用價值。 五、結束語 SAW傳感器技術是一門適合當前信息系統發展的技術，是SAW技術發展的又一個高潮，本文僅對當前SAW傳感器概念、理論、結構、研究的方向及無源標識的應用做了一個掛一漏萬的概述，其理論、設計、應用遠未充分揭示，相信其在近期會有更大的發展。