型 式 SEC（質量流量控制器） Z512MG （DeviceNet™ 模式： Z514MG） Z522MG （DeviceNet™ 模式： Z524MG） SEF- （質量流量計） Z512MG （DeviceNet™ 模式： Z514MG） Z522MG （DeviceNet™ model: Z524MG）氣體接觸部材質 SUS316L、內面研磨處理標準閥門型號 NO:非通電時 開； NC:非通電時； 關閉標準流量量程 （N2相應F.S.） #01: 30/#1.5: 55/#02: 100/#2.5: 175/#03: 300/#3.5: 550 SCCM #04: 1/#4.5: 1.75/#05: 3/#5.5: 5.5/#06: 10 SLM #07: 30/#08: 50 SLM （N2,H2,Ar,O2） ＊2 流量控制范圍 2〜100% F.S. 響應速度 1秒以內 （T98）流量精度＊1 ±1.0%S.P.以內（25〜100%F.S.） ±0.25%F.S.以內（2〜25%F.S.）直線性 ±0.5% F.S. 重復穩定性 ±0.2% F.S. 工作差壓值 50〜300kPa （d） #5.5 and #06 100〜300kPa（d） #07: 200〜300kPa（d） #08： 200（閥門C）/250（閥門 O）〜300kPa（d）最大工作壓力 450 kPa （G）耐壓 1MPa（G）外部泄漏率 5×10-12Pa・m3/s （He）使用環境溫度 5〜50℃ 流量設定信號 數字 ： RS-485 （F-Net 協議） DeviceNet™ ： （SEC-Z514MG/Z524MG）模擬 ： 0.1〜5VDC （輸入阻抗1MΩ以上）