PHOCUS-17XX系列ID讀取器 PHOCUS-17XX系列ID讀取器是用于半導(dǎo)體生產(chǎn)現(xiàn)場晶圓標(biāo)識(shí)讀取識(shí)別的智能相機(jī)。它集成高速圖像采集系統(tǒng)、高速處理器、ID讀取軟件和先進(jìn)的光學(xué)系統(tǒng)于一體，方便與工廠設(shè)備進(jìn)行系統(tǒng)集成，并能根據(jù)現(xiàn)有設(shè)備的需要輕松進(jìn)行改裝或升級(jí)。PHOCUS-17XX 系列ID讀取器能夠滿足晶圓各類標(biāo)識(shí)讀取、檢測所需，實(shí)現(xiàn)晶圓生產(chǎn)流程跟蹤，具體應(yīng)用如：晶圓缺口檢驗(yàn)、晶圓預(yù)校準(zhǔn)、晶圓精細(xì)校準(zhǔn)、晶圓識(shí)別、晶圓檢驗(yàn)、粘接焊墊檢驗(yàn)、探針針尖檢驗(yàn)。 特點(diǎn)： 1.行業(yè)領(lǐng)先性能 a.集成相機(jī)、光學(xué)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)和處理器于一體 b.先進(jìn)的ID讀碼算法；識(shí)別算法符合SEMI M1.15 鑒別標(biāo)準(zhǔn)，允許用戶讀取在同一視野范圍的T7 2D碼和M12字母數(shù)字標(biāo)簽 c.自動(dòng)軟件控制照明，提供明場和暗場模式，可變?nèi)肷浣嵌取⒁约翱烧{(diào)的亮度 d.滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)各環(huán)節(jié)的晶圓標(biāo)示識(shí)別 e.能夠采集大范圍圖像，并且工作距離范圍廣，可調(diào)整 2.操作簡便、易于安裝 a.無需任何機(jī)器視覺或圖像處理經(jīng)驗(yàn)即可操作 b.外形小巧適用于有限空間 3.遠(yuǎn)程安裝和監(jiān)控 a.以太網(wǎng)通訊方便用戶進(jìn)行數(shù)據(jù)訪問和工業(yè)過程監(jiān)控，RS-232串口可選 b.遠(yuǎn)程共享信息，監(jiān)控標(biāo)識(shí)碼讀取，診斷系統(tǒng) c.實(shí)現(xiàn)晶圓跟蹤