四種共焦位移傳感器AF16、C1、KF2、Tele和座標機Hyperion組成3D表面微觀型面測量系統： 平面移動范圍：50x50mm ；重復精度：0.5µm ；回程間隙：優于3µm ； 平直度：0.2µm ,0.5µm ；最大移動速度：30mm/s ；步進分辨率：0.5µm ； Z方向測量范圍(與選用的傳感器有關)：1.5mm (AF16) ；1mm (KF2/Tele) ；0.3mm (C1) ； Z方向分辨率(與選用的傳感器有關)：10nm (AF16) ；100nm (KF2/Tele) ；25nm (C1) 接口：RS232 ; 尺寸：400x350x350mm ; 重量：40kg 四種傳感器指標： 型號：AF16/C1/KF2/Tele 量程：1.5/0.3/1/1mm 分辨率：10/25/100/100nm 線性：0.2µm/0.5%/1µm/2µm 重復性：10/10/30/100nm 測量間隙2/4/4/13.5mm 光源：半導體激光器780nm/鹵素燈55W/半導體激光器670nm/半導體激光器780nm 激光等級：1/－/2/1 光斑直徑：1.9/9/1.7/2µm 測量垂直度：90º±25º 響應：16HZ~10KHZ/30HZ~1500HZ/16HZ~1KHZ/16HZ~1KHZ 速度：60mm/s /- /550mm/s /550mm/s 輸出/數據接口：RS232/RS232/RS232,模擬/RS232,模擬 欲了解更多關于產品的信息，請訪問真尚有公司網站 www.51sensors.com