結構特點

雙軸氣浮運動臺采用開式氣浮導軌，直線電機和光柵尺組成，永磁預載結構，XY軸疊層具有體積小，精度高、工作點低等特點，能有效降低阿貝誤差。X軸比Y軸寬，作為底軸，整體性能更穩定。非接觸式氣浮結構，免維護運行，隨著時間推移，不會出現磨損或性能下降。

精度性能

QFL-XY軸雙軸氣浮運動臺的定位精度±0.1μm，雙向重復定位精度±50nm，直線度±0.1μm，平面度±0.15μm，Pitch Yaw ±0.5arc sec，以上為全行程精度指標，由于非接觸式運動結構，氣浮運動臺的跟隨誤差有了質地提升，精度性能得到顯著提高。 

線纜管理

使用高質量的高柔排線和氣管，線管彎曲半徑產生的擾動力影響可忽略不計，運動中線纜和氣管不影響氣浮運動臺的性能。此外，可提供帶屏蔽高柔線纜，提供系統抗干擾能力。 

定制化

根據應用，結構可定制化設計，如增加平升或楔形Z軸，轉臺等。可配置大理石基座、立柱及橫梁，XY軸安裝到大理石基座上，Z軸安裝橋架上。可選配主動隔振系統，適合高抖動的應用領域。