ETEL RTMBi 高性能分選臺
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RTMBi 高性能分選臺
與TUCANA and AQUARIUS 力控制短程執行器及AccurET控制單元一起使用的RTMBi,是半導體后段高速轉臺測試方案的最佳選擇。
RTMBi 主要特點:
高動態分度應用的回轉工作臺
5種不同高度
大扭矩高度比
高動態性能能力
大空心軸,最高靈活性
TMB力矩電機提供大扭矩
最高轉速 1200 rpm
重復定位精度(雙向) ±3 角秒 at ±3sigma
定位精度:
±20角秒(mapping補償前)
±6 角秒(mapping補償后)
TUCANA and AQUARIUS 主要特點:
AQUARIUS
行程:10 mm
峰值推力:120 N
連續推力:29.5 N
速度達:1 m/s
加速度達:30 g
TUCANA
行程:10 mm
峰值推力:29 N
連續推力:11.5 N
速度達:1 m/s
加速度達:30 g

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