高精度電渦流傳感器SMT是一款專門為客戶定制的OEM產品，可測非導磁體和鐵磁材料，有1、

2或3通道可配電渦流探頭。擁有埃米級分辨率，符合CE和RoHS標準，尺

寸小巧，并可配13種電渦流探頭。同時材料、線性、分辨率、帶寬各種

性能可自行優化。

目標

1能夠精確地調整和保持半導體晶片在進行物理氣相沉淀（PVD）室中整齊排列。

2避免在進入沉淀室時，由于排列不整齊而造成晶片損壞。

3確保沉淀物統一地沉淀在晶片上。

高精度電渦流傳感器解決方案

在物理氣相沉淀系統中，晶片會被放入不同的沉淀室里，每一個沉淀室用來沉淀不同的物質。傳感器被安裝在沉淀室的內側（如圖所示）。每個傳感器測量載有晶片的傳送器在沉淀室中的位置。Kaman系統提供了模擬和數字兩種輸出信號，以防止超出系統可承受的范圍。

結果：提高了時間和精度。

高精度電渦流傳感器特點

1類型：SMT-9700高精度電渦流傳感器

2非接觸性：應用渦電流的技術，每一個傳感器均可以無接觸地測量到目標體的位置。

3高分辨率：系統可識別

4重復性：Kaman傳感器可以提供高精度的性能，可以反復用于物理氣相沉淀。

5系統多功能性：測量系統可以廣泛用于測量的各個領域。