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AWM2000 系列小流量/ 無放大氣流傳感器
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產品介紹
AWM2000系列為無源器件，包含兩個惠斯頓電橋：一個為閉環的發熱控制電路，一個為雙傳感電路，圖1，2 為用戶需外加電路，圖3 為推薦的輸出信號放大電路。
產品特點：
＊ 雙向氣流傳感
＊ 實際氣體質量流量傳感
＊ 流速0～30sccm 到0～1000sccm
＊ 需另加發熱器控制及傳感橋路供電電路
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