AWM2000 系列小流量/ 無放大氣流傳感器
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AWM2000系列為無源器件,包含兩個惠斯頓電橋:一個為閉環的發熱控制電路,一個為雙傳感電路,圖1,2 為用戶需外加電路,圖3 為推薦的輸出信號放大電路。
產品特點:
* 雙向氣流傳感
* 實際氣體質量流量傳感
* 流速0~30sccm 到0~1000sccm
* 需另加發熱器控制及傳感橋路供電電路
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