厚膜陶瓷電容式壓力傳感器的設(shè)計(jì)與制備
發(fā)布時(shí)間：2013/8/29 18:52:48
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【厚膜陶瓷電容式壓力傳感器的設(shè)計(jì)與制備】
結(jié)合厚膜技術(shù)、陶瓷技術(shù)研制了雙電容結(jié)構(gòu)的壓力傳感器，詳細(xì)闡述了厚膜陶瓷電容式壓力傳感器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、工作原理、制備方法、測(cè)試結(jié)果。
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