為減小測量誤差，設計了基于垂直位移掃描的接觸式表面形貌儀。該測量儀以保持杠桿處于平衡位置為測量前提，X_Y向，Z向工作臺分別采用衍射光柵為標準器；X—Y向工作臺采用直線電機和壓電陶瓷分別進行粗、細兩級定位，Z向電機采用壓電陶瓷驅動微定位。總體論述了該儀器的整體結構、測量原理、工作臺的定位控制以及衍射光柵干涉信號的處理等內容。測量結果表明該系統有效地提高了測量精度。[著者文摘]