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SiNx燒穿工藝下硅太陽電池結構研究

發布時間:2009/4/26 17:27:00

文件類型:rar

資料大小:213.38KB

提供者:中國傳動網

【SiNx燒穿工藝下硅太陽電池結構研究】

資料介紹
介紹了在全國產設備構成的中試線上開展的高效單晶硅太陽電池研究工作,并制備出了最高轉換效率達15.7%的單體電池(面積103×103mm︿2)。實驗采用PECVD方法制備SiNx減反、鈍化薄膜,并采用正背面電極一次金屬化燒結技術,同時完成氮化硅薄膜燒穿工藝。

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