為解決微型無線傳感器節點設計過程中無法分析射頻微機電（RF MEMS）器件微小可動結構的電磁特性問題，提出一種電磁建模方法——變形時域交替方向隱式有限差分（DADI-FDTD）法．采用有限差分技術，引入時間變量實現一維垂直運動結構動態方程的時域離散；討論了時域交替方向隱式有限差分（ADI-FDTD）法的三維數值色散關系；提出線性電（磁）介質參數插值的方法，解決了運動結構的機械時空步與電磁時空步的不一致問題，實現了復雜三維動態結構的時域描述．仿真實驗驗證了該方法可行有效．