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CMOS SnO2氣體傳感器模型與熱仿真

發布時間：2009/3/18 19:28:00

文件類型：PDF

資料大小：133.55KB

提供者：中國傳動網

【CMOS SnO2氣體傳感器模型與熱仿真】

資料介紹
為了分析CMOS SnO2氣體傳感器的工作，有必要建立合適的模型，采用晶粒邊界的肖特基勢壘模型和固體表面對氣體的Freundlich等溫吸附很好地解釋了SnO2的電導與檢測氣體體積分數工作溫度之間的關系，利用ANSYS7．0對實際設計的傳感器進行了熱仿真，這便于在CMOS后加工工藝中很好地對其控制。

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