1 飛馬座運動平臺核心特點：三位一體，重 塑生產力

　　雅科貝思飛馬座運動平臺PGS-XYT系列，以系統層面的 正向設計，從材料、結構、熱管理和運動控制等多個維度出 發，徹底打破半導體行業困局。它不僅實現了毫秒級整定、 亞微米級精度，更將靜態抖動控制在納米級別，為半導體制 造帶來了革命性的突破。

　　(1)突破性產率：毫秒級響應，賦能高效制造

　　飛馬座運動平臺采用先進的直驅技術，結合輕量化高剛 度結構設計、主動減震系統以及智能運動控制算法，將平臺 整定時間縮短至10ms以內。這意味著更快的運動速度、更 短的生產周期，從而大幅提升平臺產率，助力企業在激烈的 市場競爭中贏得先機。

　　(2)納米級抖動：精益求精，鑄就卓越品質

　　在精密制造領域，納米級抖動是衡量平臺性能的關鍵指 標。飛馬座運動平臺搭載高信噪比控制系統，實現了3nm靜 態抖動的卓越表現。這為半導體檢測、量測等對精度要求極 高的應用場景提供了堅實保障。

　　(3)卓越潔凈性能：高標準環境，延長設備壽命

　　飛馬座運動平臺充分發揮直驅技術在潔凈度和壽命上的 先天優勢，并采用低發塵設計、內置抽排系統和氣路污染隔 絕等創新技術，實現了ISO2級別的超高潔凈度。這不僅能夠 有效降低污染離子的傳播，更顯著延長設備的使用壽命，為 企業創造更大價值。

　　2 技術優勢：突破行業瓶頸

　　(1)震動管理：主動隔震，穩如磐石

　　飛馬座運動平臺采用先進的直驅技術，結合輕量化高 剛度結構設計、主動減震系統以及智能運動控制算法，將平 臺整定時間縮短至10ms以內，可滿足最大加速度2.5g的工 況。這意味著更快的運動速度、更短的生產周期，從而大幅 提升平臺產率，助力企業在激烈的市場競爭中贏得先機。

　　(2)輕量化高剛度設計：精益求精，追求極致

　　利用先進材料和拓撲優化等手段，飛馬座運動平臺實現

　　了輕量化高剛度結構設計。三片式一體化設計不僅能夠壓縮 空間尺寸，更能提高結構剛度，從根源上減少抖動和串擾， 確保產率和精度的雙重提升。

　　3 應用場景

　　飛馬座運動平臺憑借其卓越的性能，廣泛適用于半導體 制造過程中的關鍵環節，包括：

　　· 半導體檢測與量測：在晶圓檢測、缺陷分析、膜厚測 量等高精度量測應用中，飛馬座平臺能夠提供穩定的運動控 制和納米級抖動抑制，保障測量結果的準確性和可靠性。

　　· 套刻誤差檢測與校正：在多層芯片制造過程中，套刻 精度是影響芯片性能的關鍵因素。飛馬座平臺能夠輔助套刻 誤差的檢測與校正，提高芯片的良率。